氣冷羅茨螺桿泵真空機組以ZJ型或ZJP型羅茨真空泵為主泵或中間泵，以VPS螺桿真空泵為前級泵的成套高真空獲得設備，其結構緊湊，操作方便。機組除了主泵及前級泵或中間泵外，還包括連接管道、不銹鋼波紋管、電接點壓力表和電氣控制箱等附件。
目前氣冷羅茨螺桿泵真空機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統(tǒng)被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝電接點壓力表，通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當前級VPS螺桿泵起動后開始對系統(tǒng)進行預抽,當系統(tǒng)壓力(即羅茨泵進氣口處壓力)達到允許羅茨泵啟動的設定壓力(即電接點壓力表綠針所指壓力值)時，羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發(fā)生特殊情況當羅茨泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨泵立即會自動停機，這樣就可實現(xiàn)羅茨泵的自動過載保護，從而可以避免機組出現(xiàn)過載和過熱而導致機組發(fā)生故障。
氣冷羅茨螺桿泵真空機組的特點：
1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；
2、轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現(xiàn)較高轉速；
3、泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；
4、泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
5、壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難
